Метод обработки с точностью обработки до 1 мкм. Точная обработка осуществляется с использованием прецизионных станков, измерительных инструментов и счетчиков под строгим контролем условий окружающей среды. Это называется сверхточной обработкой, когда точность обработки достигает или превышает 0,1 мкм.

Технологический эффект прецизионной обработки заключается в следующем:

Точность геометрической формы и взаимного расположения деталей может достигать микронных или угловых секунд;

Предел или допуск размера элемента ниже микрометра;

Микронеровность поверхности (средняя разность высот неровностей поверхности) деталей составляет менее 0,1 мкм;

Взаимные фитинги могут соответствовать требованиям объединяющей силы;

Некоторые детали также могут отвечать требованиям точных механических или других физических свойств;